A FUSED SILICA MICROBALANCE FOR STUDY OF VACUUM DEPOSITION PROCESS

被引：13
作者：
FUJIWARA, S
TERAJIMA, H
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1970年 / 3卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1088/0022-3735/3/9/305
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
引用
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页码：695 / &
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