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MEASURING SURFACE VARIATIONS WITH SCANNING ELECTRON MICROSCOPE USING DEPOSITED CONTAMINATION LINES
被引：24
作者：
HOOVER, RA
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS
|
1971年
/
4卷
/
10期
关键词：
D O I：
10.1088/0022-3735/4/10/009
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
引用
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页码：747 / &
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