A STUDY OF THE ETCHING RATE OF SINGLE-CRYSTAL GERMANIUM

被引:59
作者
CAMP, PR
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2429917
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:586 / 593
页数:8
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共 4 条
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