ANALYSIS ON YIELD OF INTEGRATED-CIRCUITS AND A NEW EXPRESSION FOR YIELD

被引:36
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作者
OKABE, T [1 ]
NAGATA, M [1 ]
SHIMADA, S [1 ]
机构
[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1002/eej.4390920619
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:135 / 141
页数:7
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