DEPOSITION AND PROPERTIES OF ALUMINUM OXIDE OBTAINED BY PYROLYTIC DECOMPOSITION OF AN ALUMINUM ALKOXIDE

被引：154

作者：

ABOAF, JA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2426787

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：948 / &

共 26 条

[1]

DEUTSCHER PO, 1961, Patent No. 2972555

DORSEY, GA .

DORSEY, GA .

[4] DIELECTRIC PROPERTIES OF ALUMINA AT HIGH TEMPERATURES [J].

FLORIO, JV .

[5] PHASE CHANGES IN THIN REACTIVELY SPUTTERED ALUMINA FILMS [J].

FRIESER, RG .

[6]

GEEL WC, 1957, PHILIPS RES REP, V12, P240

[7]

HASS G, 1949, J OPT SOC AM, V39, P7

[8] A DIFFUSION MASK FOR GERMANIUM [J].

JORDAN, EL .

[9]

KAPLAN LH, 1965, ELECTROCHEM TECHNOL, V3, P335

[10]

KINGERY, 1960, INTRODUCTION CERAMIC, P106