PSG MASKS FOR DIFFUSIONS IN GALLIUM-ARSENIDE

被引：9

作者：

BALIGA, BJ

GHANDHI, SK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1972.17492

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：761 / &

共 11 条

[1]

BALIGA BJ, 1971, THESIS RENSSELAER PO

[2]

ELDRIDGE JM, 1968, T METALL SOC AIME, V242, P539

[3]

FLATLEY D, 1964, J ELECTROCHEM SOC, V111, pC61

[4]

GOLDSMITH N, 1967, RCA REV, V28, P153

ING, SW ;

DAVERN, W .

[6] THERMAL OXIDATION OF GAAS [J].

MINDEN, HT .

[7]

MUNCH WV, 1966, IBM J RES DEV, V10, P438

[8]

SCHLACTER MM, 1970, IEEE T, VED17, P1077

[9] CONVERSION OF GAAS TO GAP BY SOLID-STATE DIFFUSION [J].

STONE, LE .

[10] THE SYSTEM SIO2-P2O5 [J].

TIEN, TY ;

HUMMEL, FA .