MEASURING ROUGHNESS AT THE PICOMETRY LEVEL

被引：0
作者：
GLEYZES, P
BOCCARA, AC
机构：
来源：
RECHERCHE | 1993年 / 24卷 / 250期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号：
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要：
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页数：2
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共 3 条
  • [1] BOCCARA AC, Patent No. 9008255
  • [2] GLEYZES P, 1991, MICROSCPIE INTERFERE
  • [3] GLEYZES P, THESIS U PARIS SUD
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