INVESTIGATION OF GAS REACTIONS DURING CVD OF WSI2

被引：0

作者：

RODE, EJ

HERSHBARGER, W

WATSON, L

机构：

[1] SAN JOSE STATE UNIV,DEPT CHEM ENGN,SAN JOSE,CA 95192

[2] GENUS INC,MT VIEW,CA 94043

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1987年 / 134卷 / 8B期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：C478 / C478

页数：1

相关论文

empty

未找到相关数据