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ELECTRICAL AND OPTICAL-PROPERTIES OF AMORPHOUS-SILICON FILMS DEPOSITED FROM FLUORODISILANES
被引:0
|作者:
DERRICO, JJ
[1
]
PERNISZ, UC
[1
]
SHARP, KG
[1
]
机构:
[1] DOW CORNING CORP,ELECTR RES,MIDLAND,MI 48686
来源:
关键词:
D O I:
10.1016/0379-6787(89)90048-3
中图分类号:
TE [石油、天然气工业];
TK [能源与动力工程];
学科分类号:
0807 ;
0820 ;
摘要:
引用
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页码:391 / 401
页数:11
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