OPTICAL-EMISSION SPECTROSCOPY - TOWARD THE IDENTIFICATION OF SPECIES IN THE PLASMA DEPOSITION OF HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON ALLOYS

被引：49
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作者：
KAMPAS, FJ
GRIFFITH, RW
机构：
来源：
SOLAR CELLS | 1980年 / 2卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1016/0379-6787(80)90014-9
中图分类号：
TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];
学科分类号：
0807 ; 0820 ;
摘要：
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页码：385 / 400
页数：16
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