ION-BOMBARDMENT AND IMPLANTATION AND THEIR APPLICATION TO THIN-FILMS

被引：22

作者：

STROUD, PT

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(72)90340-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1 / &

共 70 条

[51]

RADZABHOV TD, 1966, SOVIET PHYS SOLID ST, V8, P1271

[52] ENERGY SPECTRA OF ATOMS SLOWING DOWN IN STRUCTURELESS MEDIA [J].

ROBINSON, MT .

PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 1965, 12 (115) :145-&

[53]

RUEDL E, 1966, MOD DEV POWDER MET, V2, P145

[54]

SHIMIZU R, 1969, DENPKI SHI KENSHO IH, V33, P1383

SIGMUND, P .

PHYSICAL REVIEW, 1969, 184 (02) :383-+

STROUD, PT .

STROUD, PT .

[58]

STROUD PT, 1971, AWRE04271 REP

[59]

STROUD PT, 1970, P EUROPEAN C ION IMP, P116

TEODOSIC, V .