EPITAXIAL-GROWTH RATE MEASUREMENTS DURING MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引:57
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作者
SPRINGTHORPE, AJ
MAJEED, A
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.584824
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:266 / 270
页数:5
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