METHODS FOR CALIBRATION OF STANDARD LEAKS

被引：9

作者：

IVERSON, MV

HARTLEY, JL

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571658

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：982 / 985

页数：4

共 23 条

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