METHODS FOR CALIBRATION OF STANDARD LEAKS

被引：9
作者：
IVERSON, MV
HARTLEY, JL
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.571658
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：982 / 985
页数：4
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