METHODS FOR CALIBRATION OF STANDARD LEAKS

被引:9
作者
IVERSON, MV
HARTLEY, JL
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.571658
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:982 / 985
页数:4
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BONAHOOM JW, 1976, SANDIA LEAK CALIBRAT
[2]  
CHAMBERLIN JL, 1976, SANDIA LABORATORIES
[3]  
Garcia F.D., COMMUNICATION
[4]  
GOULD DM, COMMUNICATION
[5]  
LAUFER M, COMMUNICATION
[6]  
LAUFER MK, 1962, VACUUM S T, P1086
[7]  
MARR JW, 1967, S671014 REP
[8]  
MYERS HL, 1976, SANDIA LEAK CALIBRAT
[9]  
PETERS PH, 1969, NASACR106139 REP
[10]  
Roth A., 1976, VACUUM TECHNOLOGY