UBER DEN AUFBAU UND DIE STRUKTUR AUFGEDAMPFTER SILICIUMSCHICHTEN UND IHR VERHALTEN BEI HOHEN TEMPERATUREN

被引：7
作者：
HASS, G
机构：
来源：
ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE CHEMIE | 1948年 / 257卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1002/zaac.19482570402
中图分类号：
O61 [无机化学];
学科分类号：
070301 ; 081704 ;
摘要：
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页码：166 / 172
页数：7
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