ACOUSTIC WAVE ANALYSIS OF OPERATION OF QUARTZ-CRYSTAL FILM-THICKNESS MONITORS

被引：82
作者：
MILLER, JG
BOLEF, DI
机构：
来源：
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1968年 / 39卷 / 12期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1656066
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：5815 / &
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