DEFECTS IN SILICON PRE-AMORPHISED BY GERMANIUM IMPLANTATION AFTER RAPID THERMAL ANNEALING INVESTIGATED BY TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY

被引:0
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作者
MEEKISON, CD
GOLD, DP
BOOKER, GR
HILL, C
BOYS, DR
机构
来源
MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 1989 | 1989年 / 100卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页数:6
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