ELECTRON-MICROSCOPY OF MULTILAYER SYSTEMS AL-TISI2/SI(111) AND AL-W-TISIX/SI(111)

被引:0
作者
VASILIEV, AL [1 ]
LEBEDEV, OI [1 ]
VASILIEV, AG [1 ]
ORLIKOVSKIJ, AA [1 ]
机构
[1] ACAD SCI USSR,INST ENGN PHYS,MOSCOW V-71,USSR
来源
IZVESTIYA AKADEMII NAUK SSSR SERIYA FIZICHESKAYA | 1991年 / 55卷 / 08期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
收藏
页码:1487 / 1493
页数:7
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