RAPID DIFFUSION OF TITANIUM IN DEPOSITED FILMS

被引：1
作者：
YOSHITAKE, M
YOSHIHARA, K
机构：
来源：
JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS | 1991年 / 55卷 / 06期
关键词：
RAPID DIFFUSION; DEPOSITED FILMS; TITANIUM; AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY;
D O I：
10.2320/jinstmet1952.55.6_727
中图分类号：
学科分类号：
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页码：727 / 728
页数：2
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