GROWTH OF DIAMOND THIN-FILMS BY SPIRAL HOLLOW-CATHODE PLASMA-ASSISTED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:10
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作者
KUNG, PJ
TZENG, Y
机构
关键词
D O I
10.1063/1.343824
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4676 / 4684
页数:9
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