A NEW METHOD FOR ENHANCING FOCUS LATITUDE IN OPTICAL LITHOGRAPHY - FLEX

被引：29
作者：
FUKUDA, H
HASEGAWA, N
TANAKA, T
HAYASHIDA, T
机构：
来源：
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1987年 / 8卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1109/EDL.1987.26594
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：179 / 180
页数：2
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共 3 条
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