CHARACTERIZATION OF LOW-PRESSURE HIGH-FREQUENCY PLASMAS BY DC PROBE MEASUREMENTS

被引：0
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作者：
FRANZREB, K
FUCHS, A
OECHSNER, H
机构：
来源：
PLASMA SURFACE ENGINEERING, VOLS 1 AND 2 | 1989年
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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