ANALYSIS OF GROWTH-RATE IN GAAS VAPOR-PHASE EPITAXY

被引:0
作者
KOMENO, J
SHIBATOMI, A
OHKAWA, S
机构
来源
FUJITSU SCIENTIFIC & TECHNICAL JOURNAL | 1977年 / 13卷 / 04期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页码:111 / 121
页数:11
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