DESIGN CRITERIA FOR UNIFORM REACTION-RATES IN AN OXYGEN PLASMA

被引：49

作者：

BATTEY, JF ^{[1
]}

机构：

[1] INT PLASMA CORP,HAYWARD,CA 94544

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1977年 / 24卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1977.18693

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：140 / 146

页数：7

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共 4 条

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