ENERGY EFFECTS IN SECONDARY ION EMISSION OF IMPLANTED AND SIMULTANEOUSLY SPUTTERED ARGON

被引:10
作者
KOSYACHKOV, AA
CHEREPIN, VT
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1098(89)90056-2
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
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