APPLICATION OF WHITE-LIGHT INTERFEROMETRY IN THIN-FILM MEASUREMENTS

被引：40

作者：

LIN, C

SULLIVAN, RF

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1147/rd.163.0269

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：269 / &

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