SURFACE SEGREGATION MECHANISM DURING TWO-DIMENSIONAL EPITAXIAL-GROWTH - THE CASE OF DOPANTS IN SI AND GAAS MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引:33
作者
ANDRIEU, S [1 ]
DAVITAYA, FA [1 ]
PFISTER, JC [1 ]
机构
[1] CTR NATL ETUD TELECOMMUN,F-38243 MEYLAN,FRANCE
关键词
D O I
10.1063/1.342752
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2681 / 2687
页数:7
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