DEVELOPMENT OF A SCANNING AUGER-ELECTRON MICROSCOPE EQUIPPED WITH A FIELD-EMISSION GUN

被引：0

作者：

TODOKORO, H ^{[1
]}

SAKITANI, Y ^{[1
]}

FUKUHARA, S ^{[1
]}

OKAJIMA, Y ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD, HITACHI RES LAB, HITACHI, IBARAKI 31912, JAPAN

来源：

JOURNAL OF ELECTRON MICROSCOPY | 1981年 / 30卷 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：107 / 113

页数：7

共 8 条

BISHOP, HE ;

RIVIERE, JC .

BROWNING, R ;

BASSETT, PJ ;

ELGOMATI, MM ;

PRUTTON, M .

[3]

BUTLER JW, 1966, 6 INT C EL MICR, V1, P191

[4]

CHRISTOU S, 1975, IITRI SEM, V75, P149

[5]

MOCRACKEN GM, 1976, NUOVO CIMENTO S, V5, P146

[6]

OKAJIMA Y, 1980, BUNSEKI KAGAKU, V29, P351

[7]

POWELL BD, 1978, J PHYS E, V8, P548

[8] SCANNING AUGER-ELECTRON MICROSCOPY AT 30 NM RESOLUTION [J].

VENABLES, JA ;

JANSSEN, AP ;

HARLAND, CJ ;

JOYCE, BA .

PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 1976, 34 (03) :495-500