CHARGING EFFECT OF SPECIMEN IN SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY

被引：37

作者：

ICHINOKAWA, T

IIYAMA, M

ONOGUCHI, A

KOBAYASHI, T

机构：

[1] WASEDA UNIV, DEPT APPL PHYS, TOKYO, JAPAN

[2] AKASHI SEISAKUSHO CO LTD, MARUNOUCHI, TOKYO, JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1974年 / 13卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.13.1272

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1272 / 1277

页数：6

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共 4 条

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