VACUUM ULTRAVIOLET PLASMA ARC RADIATION SOURCE FOR 300-1000-A WAVELENGTH REGION

被引:4
作者
LEVY, ME
HUFFMAN, RE
机构
来源
APPLIED OPTICS | 1970年 / 9卷 / 01期
关键词
D O I
10.1364/AO.9.000041
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
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