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FUTURE VERY-LARGE-SCALE INTEGRATION TECHNOLOGY
被引:0
作者:
HIROSE, M
[1
]
机构:
[1] HIROSHIMA UNIV,INTEGRATED SYST RES CTR,HIROSHIMA 724,JAPAN
来源:
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY
|
1988年
/
1卷
/
3-4期
关键词:
D O I:
10.1016/0921-5107(88)90001-3
中图分类号:
T [工业技术];
学科分类号:
08 ;
摘要:
引用
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页码:213 / 220
页数:8
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