USE OF NUCLEAR-REACTIONS AND SIMS FOR QUANTITATIVE DEPTH PROFILING OF HYDROGEN IN AMORPHOUS SILICON

被引：57

作者：

CLARK, GJ

WHITE, CW

ALLRED, DD

APPLETON, BR

MAGEE, CW

CARLSON, DE

机构：

[1] OAK RIDGE NATL LAB,DIV SOLID STATE,OAK RIDGE,TN 37830

[2] RCA,PRINCETON,NJ 08540

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1977年 / 31卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1063/1.89787

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：582 / 585

页数：4

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共 13 条

[11] ELECTROLUMINESCENCE IN AMORPHOUS SILICON [J].

PANKOVE, JI ;

CARLSON, DE .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1976, 29 (09) :620-622

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WHITEHOUSE DJ, 1974, CHARACTERIZATION SOL, P53