TITANIUM NITRIDE FILMS PREPARED BY ION-IMPLANTATION

被引：12

作者：

CHEN, PA ^{[1
]}

YANG, TT ^{[1
]}

机构：

[1] INST NUCL ENERGY RES,LUNGTAN,TAIWAN

来源：

THIN SOLID FILMS | 1981年 / 81卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90511-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：L91 / L92

页数：2

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