PREPARATION OF ALSB FILMS BY LASER ANNEALING

被引：5

作者：

BAUFAY, L

ANDREW, R

PIGEOLET, A

LAUDE, LD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90073-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：69 / 74

页数：6

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共 5 条

ANDREW, R ;

LEDEZMA, M ;

LOVATO, M ;

WAUTELET, M ;

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