DETERMINATION OF OXYGEN IN SEMICONDUCTOR MATERIALS WITH A CRYOGENICALLY PUMPED SPARK-SOURCE MASS-SPECTROMETER

被引:16
作者
CLEGG, JB [1 ]
GALE, IG [1 ]
MILLETT, EJ [1 ]
机构
[1] MULLARD RES LABS,REDHILL,SURREY,ENGLAND
关键词
D O I
10.1039/an9739800069
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:69 / 74
页数:6
相关论文
共 23 条