CONTACT POTENTIAL MEASUREMENT OF CHARGE-DISTRIBUTION IN THIN SIO2-FILMS

被引:0
作者
OHRING, M [1 ]
OSWALD, R [1 ]
BESS, M [1 ]
机构
[1] STEVENS INST TECHNOL,DEPT MET,HOBOKEN,NJ 07030
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.1318541
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:128 / 128
页数:1
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