THE EFFECT OF SUBSTRATE-TEMPERATURE ON THE ELECTRICAL-PROPERTIES OF THIN CHROMIUM FILMS

被引：23
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作者：
ANGADI, MA
UDACHAN, LA
机构：
来源：
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE | 1981年 / 16卷 / 05期
关键词：
D O I：
10.1007/BF01033860
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：1412 / 1415
页数：4
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