FINE FOCUSED ION-BEAMS

被引：31
作者：
SELIGER, RL
KUBENA, RL
WANG, V
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1982年 / 21卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.7567/JJAPS.21S1.3
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
页码：3 / 10
页数：8
相关论文
共 9 条
  • [1] BRANDSON DG, 1963, SURFACE SCI, V3, P1
  • [2] GIBBONS JF, 1975, PROJECTED RANGE STAT
  • [3] HANSEN M, 1958, CONSTITUTION BINARY, P232
  • [4] HIGH-CURRENT DENSITY GA+ IMPLANTATIONS INTO SI
    HART, RR
    ANDERSON, CL
    DUNLAP, HL
    SELIGER, RL
    WANG, V
    [J]. APPLIED PHYSICS LETTERS, 1979, 35 (11) : 865 - 867
  • [5] MOFFETT WG, 1977, HDB BINARY PHASE DIA
  • [6] HIGH-INTENSITY SCANNING ION PROBE WITH SUBMICROMETER SPOT SIZE
    SELIGER, RL
    WARD, JW
    WANG, V
    KUBENA, RL
    [J]. APPLIED PHYSICS LETTERS, 1979, 34 (05) : 310 - 312
  • [7] van Der Pauw L. J., 1958, PHILIPS RES REP, V13, P1
  • [8] WANG V, 1980, 9TH INT C EL ION BEA
  • [9] WYSOCKI JA, 1979, COMMUNICATION
1