LOW-TEMPERATURE DEPOSITION OF DIAMOND FILMS FOR OPTICAL COATINGS

被引:68
作者
ONG, TP
CHANG, RPH
机构
关键词
D O I
10.1063/1.102106
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2063 / 2065
页数:3
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