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A THIN-FILM CAPACITANCE HUMIDITY SENSOR
被引：44
作者：
JACHOWICZ, RS
SENTURIA, SD
机构：
来源：
SENSORS AND ACTUATORS
|
1981年
/
2卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1016/0250-6874(81)80036-4
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
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页码：171 / 186
页数：16
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