INFRARED ABSORPTION CHARACTERISTICS OF SOLUBLE AND INSOLUBLE PHOSPHOROUS-BEARING OXIDE LAYERS

被引：5

作者：

CORL, EA

REESE, WE

机构：

来源：

METALLURGICAL TRANSACTIONS | 1970年 / 1卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1007/BF02811604

中图分类号：

TF [冶金工业];

学科分类号：

0806 ;

摘要：

引用

收藏

页码：747 / &

相关论文

共 3 条

[1] NON-DESTRUCTIVE DETECTION OF PHOSPHORUS OXIDE LAYERS ON SEMICONDUCTOR WAFERS [J].

CORL, EA ;

SILVERMA.SL ;

KIM, YS .

SOLID-STATE ELECTRONICS, 1966, 9 (10) :1009-&

[2]

CORL EA, 1966, SOLID STATE ELECTRON, V9, P1017

[3]

NANDA MM, 1966, 5 ANN S PHYS FAIL EL