ACCUMULATION KINETICS OF SILICON-NITRIDE DURING NITROGEN ION-BOMBARDMENT OF SILICON

被引：0

作者：

LEZHEIKO, LV

LYUBOPYTOVA, EV

SMIRNOV, LS

机构：

来源：

ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI | 1981年 / 51卷 / 04期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

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页码：818 / 822

页数：5

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共 6 条

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[No title captured]