GLOW-DISCHARGE OPTICAL SPECTROSCOPY FOR MONITORING SPUTTER DEPOSITION

被引：1
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作者：
SEQUEDAO.F
GREENE, JE
机构：
[1] UNIV ILLINOIS, DEPT MET, URBANA, IL 61801 USA
[2] UNIV ILLINOIS, DEPT COORINDATED SCI LAB, URBANA, IL USA
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1116/1.1318556
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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