THERMOCHEMISTRY OF THERMAL PLASMA CHEMICAL-REACTIONS .2. A SURVEY OF SYNTHESIS ROUTES FOR SILICON-NITRIDE PRODUCTION

被引：22

作者：

CHANG, Y ^{[1
]}

YOUNG, RM ^{[1
]}

PFENDER, E ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MINNESOTA,CTR PLASMA CHEM,MINNEAPOLIS,MN 55455

来源：

PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING | 1987年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1007/BF01016519

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页码：299 / 316

页数：18

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共 25 条

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