IMPLANT DIFFUSION WITH POSITION-DEPENDENT DIFFUSION-COEFFICIENT

被引:11
作者
COLLINS, R
机构
来源
RADIATION EFFECTS LETTERS | 1981年 / 58卷 / 05期
关键词
D O I
10.1080/01422448108229076
中图分类号
TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];
学科分类号
0827 ; 082701 ;
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页数:5
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