IMPLANT DIFFUSION WITH POSITION-DEPENDENT DIFFUSION-COEFFICIENT

被引：11

作者：

COLLINS, R

机构：

来源：

RADIATION EFFECTS LETTERS | 1981年 / 58卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1080/01422448108229076

中图分类号：

TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];

学科分类号：

0827 ; 082701 ;

摘要：

引用

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页码：133 / 137

页数：5

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共 12 条

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