LOW-TEMPERATURE GROWTH OF PIEZOELECTRIC ALN FILM FOR SURFACE AND BULK WAVE TRANSDUCERS BY RF REACTIVE PLANAR MAGNETRON SPUTTERING

被引：0

作者：

SHIOSAKI, T ^{[1
]}

YAMAMOTO, T ^{[1
]}

ODA, T ^{[1
]}

KAWABATA, A ^{[1
]}

机构：

[1] KYOTO UNIV,FAC ENGN,KYOTO 606,JAPAN

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON SONICS AND ULTRASONICS | 1981年 / 28卷 / 05期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O42 [声学];

学科分类号：

070206 ; 082403 ;

摘要：

引用

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