OPERATION OF A GLOW DISCHARGE ION GUN USED FOR SPECIMEN THINNING

被引：16
作者：
HOLLAND, L
HURLEY, RE
LAURENSON, L
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1971年 / 4卷 / 03期
关键词：
D O I：
10.1088/0022-3735/4/3/011
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：198 / +
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