ION-BEAM DEPOSITION OF THIN FILMS OF DIAMONDLIKE CARBON

被引：988

作者：

AISENBERG, S

CHABOT, R

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1660654

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：2953 / +

页数：1

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共 6 条

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