UNIFORM DEPTH PROFILING IN X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY (ELECTRON-SPECTROSCOPY FOR CHEMICAL-ANALYSIS)

被引：10

作者：

BRADLEY, L

BOSWORTH, YM

BRIGGS, D

GIBSON, VA

OLDMAN, RJ

EVANS, AC

FRANKS, J

机构：

[1] ICI LTD,MOND DIV,CORP LAB,RUNCORN,CHESHIRE,ENGLAND

[2] ION TECH LTD,TEDDINGTON,MIDDLESEX,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1366/000370278774331468

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：175 / 177

页数：3

共 6 条

[1]

BRIGGS D, 1977, MOL SPECTROSCOPY, P468

[2]

CLARK RB, 1974, J PHYS E, V1, P566

FRANKS, J ;

GHANDER, AM .

[4]

JOHANNESSEN JS, THIN SOLID FILMS

[5] SURFACE OXIDATION OF SILICON-NITRIDE FILMS [J].

RAIDER, SI ;

FLITSCH, R ;

ABOAF, JA ;

PLISKIN, WA .

WAGNER, CD .