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A PRECISION, HIGH-CURRENT, HIGH-SPEED ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY COLUMN
被引：0
作者：
KELLY, J
GROVES, TR
KUO, HP
机构：
来源：
HEWLETT-PACKARD JOURNAL
|
1981年
/
32卷
/
05期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号：
0812 ;
摘要：
引用
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页码：14 / &
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